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利用RF哨声波放电控制烃基和薄膜的沉积
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文献信息
| 篇名 | 利用RF哨声波放电控制烃基和薄膜的沉积 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 薄膜 沉积 等离子体应用 射频 烃基 | ||
| 年，卷（期） | 1992,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 77-84 | |
| 页数 | 8页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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