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电弧等离子体CVD法制备微细钽粉
电弧等离子体CVD法制备微细钽粉
作者:
古伟良
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钽
金属粉末
等离子体
CVD
制备
摘要:
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文献信息
篇名
电弧等离子体CVD法制备微细钽粉
来源期刊
国外稀有金属动态
学科
工学
关键词
钽
金属粉末
等离子体
CVD
制备
年,卷(期)
1992,(17)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
6-7
页数
2页
分类号
TF123.24
字数
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有色与稀有金属国外动态
主办单位:
北京有色金属研究总院
出版周期:
半月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
北京市新街口外大街2号603室
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
498
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