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文献信息
| 篇名 | 简易高温反偏老化台原理与结构 | ||
| 来源期刊 | 山东半导体技术 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 半导体器件 反偏老化台 理论 结构 | ||
| 年，卷（期） | sdbdtjs,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 6-8 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN305 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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