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用增强的等离子体离子氮化形成氮化铝
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文献信息
| 篇名 | 用增强的等离子体离子氮化形成氮化铝 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 氮化铝 辉光放电 等离子体应用 | ||
| 年，卷（期） | 1993,（5） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 72-78 | |
| 页数 | 7页 | 分类号 | TQ174.6 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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氮化铝
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