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离化团粒束：物理和技术
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文献信息
| 篇名 | 离化团粒束：物理和技术 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 物理学 |
| 关键词 | 团粒 离化团粒束 沉积 薄膜生长 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 43-65 | |
| 页数 | 23页 | 分类号 | O484.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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团粒
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