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等离子体源离子注入技术及其应用
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文献信息
| 篇名 | 等离子体源离子注入技术及其应用 | ||
| 来源期刊 | 航天出国考察技术报告 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 离子注入 离子束注入 等离子体源 金属 表面处理 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 150-155 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TG156.8 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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研究主题发展历程
节点文献
离子注入
离子束注入
等离子体源
金属
表面处理
研究起点
研究来源
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研究去脉
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相关学者/机构
期刊影响力
航天出国考察技术报告
主办单位：
出版周期：
半年刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
北京市1408信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
428
总下载数（次）
2
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