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利用磁控管原理的低压强流离子轰击源
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文献信息
| 篇名 | 利用磁控管原理的低压强流离子轰击源 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 磁控管 等离子体枪 离子源 | ||
| 年，卷（期） | 1994,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 70-72 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TL629.1 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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