间隙对涡轮分子泵性能的影响

• 作者: 王兰 西蒙.,MD
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 工学
• 关键词: 涡轮分子泵 性能 间隙
• 年，卷（期）: 1995,（2）
• 页码范围: 33-38
• 页数: 6页
• 分类号: TB752.27

摘要

本文分析了涡轮分子泵内动叶片和定片间空隙所产生的影响，讨论了一个基于级间反流传导的简单模型。作者把单级的分析结果结合起来，用来评定多级泵的性能。计算结果表明间隙尺寸对抽速影响很小，而对压缩比的影响却是惊人的，尤其是对于高分子量的气体。最后，本文对不同间隙计算出来的压缩比和抽速与实验结果进行了比较。