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高密度电感耦合等离子体反应器在多晶硅蚀刻中的应用
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文献信息
| 篇名 | 高密度电感耦合等离子体反应器在多晶硅蚀刻中的应用 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 电感耦合 等离子体反应器 多晶硅 蚀刻 | ||
| 年，卷（期） | 1995,（3） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 73-78 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN405.982 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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