一种比金刚石还硬的新型材料—β—C3N4

• 作者: 俞跃辉 吴招促
• 来源期刊: 薄膜科学与技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石 体积模量 材料 β-C3N4材料
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 349-355
• 页数: 7页
• 分类号: TB39

摘要

β－Ｃ３Ｎ４晶体是一种新型假想材料，其结构和β－Ｓｉ３Ｎ４晶体相似。β－Ｃ３Ｎ４材料从理论上预言可能具有比金刚石还大的体积模量，并有较为特殊的电学和光学性能。高含氮量的ＣＮ膜和多晶β－Ｃ３Ｎ４的研究成为目前的研究重点。原子比Ｎ：Ｃ〉１的ＣＮ膜和颗粒直径约为０．５μｍ的多晶已有报导。多晶体的研究倾向于采用低能Ｎ离子辅助沉积。掺杂元素的研究对ＣＮ膜的半导体性能的影响将成为该领域的又一新的研究方向。