磁透镜技术及其在沉积金刚石/类金刚石薄膜中的应用

• 作者: 郝晋青
• 来源期刊: 科技创新与生产力
• 关键词: 磁透镜技术 金刚石沉积膜 类金刚石沉积膜
• 年，卷（期）: 2005,（3）
• 所属期刊栏目: 应用研究
• 页码范围: 66-67,69
• 页数: 3页
• 分类号: TD8
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1674-9146.2005.03.035

摘要

阐明了磁透镜原理,依照磁透镜理论和几何光学理论,给出一种确定磁透镜位置的方法.并将磁透镜技术应用到直流等离子射流化学沉积金刚石薄膜/类金刚石薄膜装置中,很好地消除了边界效应,实现高速大面积沉积高纯度金刚石薄膜/类金刚石薄膜的目标.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝晋青	太原师范学院物理系	4	0	0.0	0.0