基体梯度降温对钛合金表面沉积金刚石薄膜的影响

• 作者: 余志明 刘丹瑛 张益豪 阳泰明 魏秋平 龙芬
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 Ti6Al4V 形核 TiC层
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 754-760
• 页数: 7页
• 分类号: TB43
• 语种: 中文

摘要

采用热丝化学气相沉积法(HFCVD)在钛合金(Ti6Al4V)表面沉积金刚石薄膜,研究基体温度对金刚石形核的影响,及梯度降温CVD技术(即高温梯度降温形核-低温生长)对所得金刚石薄膜样品的物相组成、表面形貌和附着性能的影响.利用扫描电镜(SEM)、激光拉曼光谱(Raman)和维氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能.结果表明:基体温度较高时,基体表面钛原子和活性碳原子具有更高的能量,更利于活性碳原子向基体的扩散,促进碳化钛的形成,最终延长金刚石的孵化期；采用高温形核-低温生长的梯度降温法可以在550～600℃下沉积质量良好的金刚石薄膜；基体温度在30 min内从800℃逐渐降温至550℃后再生长7h,所得金刚石薄膜样品具有较好的附着性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
5	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
9	刘丹瑛	中南大学材料科学与工程学院	4	21	3.0	4.0
10	张益豪	中南大学材料科学与工程学院	2	12	2.0	2.0
11	龙芬	中南大学材料科学与工程学院	4	19	3.0	4.0
12	阳泰明	中南大学材料科学与工程学院	1	5	1.0	1.0