热丝辐射距离与甲烷浓度对CVD金刚石薄膜的影响

• 作者: 余志明 刘培植 田孟昆 陈中 马莉 魏秋平
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 金刚石薄膜 甲烷体积分数 热丝辐射距离 拉曼光谱 热丝化学气相沉积
• 年，卷（期）: 2011,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 187-195
• 分类号: TB43
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0224.2011.02.006

摘要

以H2和CH4作为反应气体,采用热丝化学气相沉积法(Hot filaments chemical vapor deposition,HFCVD),在WC-3%Co条状平板上制备金刚石薄膜,利用扫描电镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光拉曼光谱(Raman)和洛氏硬度仪分析薄膜的形貌、结构、成分和附着性能,研究热丝辐射距离和反应气体中甲烷的体积分数对金刚石薄膜的影响.结果表明:热丝辐射距离和甲烷体积分数增加会使薄膜中金刚石相(sp3杂化)减少,且热丝辐射距离和甲烷体积分数显著影响薄膜中sp2杂化碳相的种类和含量.当热丝辐射距离约为9～13 mm时,薄膜的成分和结构受热丝辐射距离变化的影响较小:而在热丝辐射距离在13～17 mm范围内时,薄膜的成分和结构受热丝辐射距离的影响较大.压痕测试表明在WC-3%Co硬质合金基体上沉积的金刚石薄膜与基体的附着性能良好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
2	魏秋平	中南大学材料科学与工程学院	35	149	7.0	9.0
6	刘培植	中南大学材料科学与工程学院	4	19	3.0	4.0
7	马莉	中南大学粉末冶金国家重点实验室	29	165	8.0	12.0
8	田孟昆	中南大学材料科学与工程学院	3	22	3.0	3.0
9	陈中	中南大学材料科学与工程学院	3	16	2.0	3.0