温度监控装置在CVD金刚石膜沉积设备中的应用

• 作者: 何奇宇 刘秀军 吴晓波 孙振路 杨卫正 王少岩 胡红彦
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: 温度监控 红外测温仪 遥控 信号发射器 信号接收器
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 38-41
• 页数: 4页
• 分类号: TB383
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2008.01.009

摘要

介绍了一种温度监控装置,并结合其在等离子体喷射CVD金刚石膜沉积设备中的使用情况,论述了该温度监控装置的工作原理,给出了监控的驱动电路,并对该电路进行了分析,最后在沉积结果中选取了两种典型的金刚石膜晶粒形貌做了比较,经过多次沉积实验证明,本温度监控装置的引入大大降低了值班人员的劳动强度,明显改善了金刚石膜的质量和完整性,提高了产品的出材率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	孙振路		17	48	4.0	6.0
2	刘秀军		10	18	3.0	4.0
3	王少岩		7	12	2.0	3.0
4	胡红彦		8	29	3.0	5.0
5	何奇宇		3	5	1.0	2.0
6	吴晓波		10	15	3.0	3.0
7	杨卫正		5	3	1.0	1.0