CVD金刚石膜沉积设备的稳流控制电路

• 作者: 刁习刚 吴晓波 杨卫正 王少岩 胡红彦 郭辉
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: 磁饱和电抗器 稳流 SG3524 IGBT
• 年，卷（期）: 2004,（2）
• 页码范围: 7-9,33
• 页数: 4页
• 分类号: TN710
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2004.02.003

摘要

研制了DC PLASMA JET CVD金刚石膜沉积设备电源的稳流控制电路.该电路利用负反馈原理,通过SG3524调节输出脉冲的占空比,推动IGBT,为磁饱和电抗器提供控制电流,达到电源稳定输出电流的目的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭辉		12	14	2.0	3.0
2	王少岩		7	12	2.0	3.0
3	胡红彦		8	29	3.0	5.0
4	吴晓波		10	15	3.0	3.0
5	杨卫正		5	3	1.0	1.0
6	刁习刚		7	4	1.0	1.0