直流电弧等离子喷射法沉积大面积金刚石厚膜的研究

• 作者: LI Guo-hua 刁习刚 刘秀军 吴晓波 姜龙 孙振路 李国华 王少岩 王志娜 胡红彦 蔡云虹 郭辉
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: 直流电弧等离子喷射 CVD 自支撑金刚石厚膜
• 年，卷（期）: 2000,（1）
• 页码范围: 25-28,48
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2000.01.006

摘要

在自行研制的直流电弧等离子喷射化学气相金刚石膜设备上,初步研究了衬底温度、甲烷浓度、输入功率和循环气量等工艺参数对沉积金刚石膜的影响.总结出了制备各种级别金刚石膜的一般规律.并以11μm/h的沉积速率制备了直径60mm、厚度均匀的高质量自支撑金刚石膜,热导率可达18W/cm·K,厚度为0.7mm,其热导率已接近天然金刚石.