等离子体刻蚀金刚石膜的研究方法及现状

• 作者: 刘好 徐楚峰 徐菲芬 胡杨
• 来源期刊: 佛山陶瓷
• 关键词: 等离子体刻蚀 金刚石膜 进展
• 年，卷（期）: 2012,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 14-17
• 页数: 4页
• 分类号: TN405.982
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-8236.2012.08.005

摘要

等离子体刻蚀是金刚石膜的抛光、切割和图形化等加工过程中一项很重要的技术。本文综述了国内外等离子体刻蚀金刚石膜的研究成果。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘好	广东石油化工学院机电工程学院	5	12	2.0	3.0
2	徐菲芬	广东石油化工学院机电工程学院	1	5	1.0	1.0
3	徐楚峰	广东石油化工学院机电工程学院	1	5	1.0	1.0
4	胡杨	广东石油化工学院机电工程学院	1	5	1.0	1.0