金刚石厚膜的微结构研究

• 作者: 冯玉玲 姜志刚 李博 李红东 林志伟 郑涛 郑艳彬
• 来源期刊: 高压物理学报
• 关键词: 金刚石厚膜 等离子体刻蚀 生长特性 晶界
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 265-268
• 页数: 4页
• 分类号: O521.2|O613.71
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5773.2008.03.007

摘要

采用直流辉光等离子体化学气相沉积金刚石厚膜,利用氢的微波等离子体对抛光的金刚石厚膜截面进行刻蚀,用扫描电子显微镜、激光拉曼光谱仪研究了金刚石厚膜的微结构及杂质、缺陷的分布.结果表明:杂质、空洞主要富集在晶界处;在金刚石膜的生长过程中,随着甲烷流量的增加,晶界密度、空洞、晶粒内部缺陷、杂质含量逐渐增加,晶界的排列从以纵向为主过渡到网状结构.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李博	吉林大学超硬材料国家重点实验室	92	412	11.0	15.0
2	姜志刚	吉林大学超硬材料国家重点实验室	21	157	6.0	12.0
3	冯玉玲	长春理工大学物理系	23	31	4.0	5.0
4	郑涛	长春理工大学物理系	7	10	2.0	3.0
5	李红东	吉林大学超硬材料国家重点实验室	10	36	3.0	6.0
6	郑艳彬	吉林大学超硬材料国家重点实验室	4	16	3.0	4.0
7	林志伟	吉林大学超硬材料国家重点实验室	1	0	0.0	0.0