直流电弧等离子体喷射法制备金刚石自支撑膜研究新进展

• 作者: 刘金龙 吕反修 李成明 陈良贤 魏俊俊 黑立富
• 来源期刊: 金刚石与磨料磨具工程
• 学科: 工学
• 关键词: 直流电弧等离子体喷射 金刚石自支撑膜 断裂韧性 吸收系数 热导率
• 年，卷（期）: 2018,（1）
• 页码范围: 16-27
• 页数: 12页
• 分类号: TQ164
• 字数: 7187字
• 语种: 中文
• DOI: 10.13394/j.cnki.jgszz.2018.1.0003

摘要

文章综述了以直流电弧等离子体喷射法制备自支撑金刚石膜的研究新进展,对电弧特性、金刚石晶体质量、力学性能、光学性能及热学性能进行了介绍.研究表明:不同电弧区域的金刚石膜结晶质量及应力状态有所差异,钛过渡层可以降低金刚石的残余应力;采用四点弯曲测得金刚石的断裂韧性为10.99MPa ·m1/2;一定温度范围内,金刚石吸收系数与温度的关系基本不受金刚石质量和厚度的影响;金刚石的光学性能越好,其热导率越高,且金刚石形核面热导率略高于生长面,500 K以上时多晶金刚石膜的热导率近似于单晶水平.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学新材料技术研究院	151	1208	18.0	24.0
2	魏俊俊	北京科技大学新材料技术研究院	32	112	5.0	9.0
3	黑立富	北京科技大学新材料技术研究院	39	153	6.0	10.0
4	李成明	北京科技大学新材料技术研究院	71	480	12.0	19.0
5	陈良贤	北京科技大学新材料技术研究院	34	69	4.0	5.0
6	刘金龙	北京科技大学新材料技术研究院	34	82	5.0	7.0