黑色组织对直流电弧等离子体喷射金刚石自支撑膜光学、热学性能的影响

• 作者: 吕反修 左铁钏 杨胶溪 段晓峰 王凤莲
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜 黑色组织 红外透过率 热导率
• 年，卷（期）: 2005,（2）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 175-178
• 页数: 4页
• 分类号: TN213
• 字数: 2319字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2005.02.019

摘要

利用直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法进行不同质量的金刚石厚膜的制备.金刚石膜用倒置荧光显微镜(OM)、高分辨电镜(HRTEM)、电子能量损失谱(EELS)、拉曼谱(Raman)进行表征,同时测量了不同质量金刚石膜的红外透过率和热导率.研究结果表明,黑色组织主要是金刚石膜中的夹杂物,成分主要是非晶碳和杂质氮.对于光学级透明金刚石膜,具有很高的红外透过率和热导率,黑色组织的存在明显降低了金刚石膜的质量,对金刚石膜的红外透过率和热导率的影响非常显著.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	左铁钏	北京工业大学激光工程研究院	155	2041	26.0	36.0
3	段晓峰	中国科学院物理研究所电镜中心	26	221	5.0	14.0
4	杨胶溪	北京工业大学激光工程研究院	34	320	11.0	17.0
5	王凤莲	中国科学院物理研究所电镜中心	3	16	2.0	3.0