金刚石膜中的黑色层状缺陷及非相关成因

• 作者: 罗廷礼
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: 金刚石膜 黑色层状缺陷 黑度-厚度-时位式
• 年，卷（期）: 2011,（4）
• 页码范围: 10-15
• 分类号: TB383|O77
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2011.04.004

摘要

对高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色层状缺陷进行了研究。沉积过程中通过改变沉积速率；适量加氧、加水、加氮；采用高纯气体；调整漏气率；多台设备并联运行；单台设备反复运行和交换零部件多种手段，均未找到其成因。中对用黑厚时位式新理念的研究作了报导。证实夹层成因和膜制备过程中的上述因素间无密切关系。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗廷礼	河北省科学院激光研究所	4	19	1.0	4.0