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金刚石与磨料磨具工程期刊
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对金刚石膜中黑色缺陷的研究
对金刚石膜中黑色缺陷的研究
作者:
刁习刚
张平伟
罗廷礼
蔡云虹
高亮
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
化学气相沉积
金刚石膜
黑色点状缺陷
黑色块状缺陷
黑色层状缺陷
摘要:
为了提高金刚石膜的透光性和技术参数的稳定性,对高功率直流电弧等离子体喷射法制备的金刚石膜中的黑色缺陷进行了研究。黑色缺陷可以分为点状、块状、纹理状和层状四种,用多种光学显微镜仔细观察、分析、测量、对比,研究发现:膜中粒状金属杂质、碳素体、孔洞、贯穿孪晶对光的遮挡和散射作用产生点状缺陷;晶柱间晶面倾角和走向的改变对光产生的散射和反射作用产生块状和条带状缺陷;膜中应力产生条纹缺陷;膜中不同层位导电元素对光的吸收产生层状缺陷。缺陷的存在严重影响金刚石膜的透光性、磨耗比、热导率和3点抗弯断裂强度的提高及稳定性。且本研究也提出了一些解决缺陷的方法。
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篇名
对金刚石膜中黑色缺陷的研究
来源期刊
金刚石与磨料磨具工程
学科
工学
关键词
化学气相沉积
金刚石膜
黑色点状缺陷
黑色块状缺陷
黑色层状缺陷
年,卷(期)
2015,(3)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
29-34
页数
6页
分类号
TQ164
字数
4653字
语种
中文
DOI
10.13394/j.cnki.jgszz.2015.3.0006
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
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1
张平伟
13
19
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蔡云虹
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5
罗廷礼
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刁习刚
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引证文献(1)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
化学气相沉积
金刚石膜
黑色点状缺陷
黑色块状缺陷
黑色层状缺陷
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金刚石与磨料磨具工程
主办单位:
郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
出版周期:
双月刊
ISSN:
1006-852X
CN:
41-1243/TG
开本:
16开
出版地:
郑州市高新区梧桐街121号
邮发代号:
36-34
创刊时间:
1970
语种:
chi
出版文献量(篇)
2468
总下载数(次)
7
总被引数(次)
15377
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