激光切割对金刚石膜性能的影响

• 作者: 吴晓波 崔文秀 罗廷礼 蔡云虹
• 来源期刊: 河北省科学院学报
• 关键词: CVD 金刚石膜 激光损伤 三点弯曲断裂强度 热导率
• 年，卷（期）: 2004,（3）
• 页码范围: 36-38
• 页数: 3页
• 分类号: TN249
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-9383.2004.03.012

摘要

研究了激光切割对CVD金刚石膜三点弯曲断裂强度和热导率的影响.选择合适的激光切割电压和切割速度可以避免这种激光损伤并给出了判断该切割电压和切割速度是否合适的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗廷礼	河北省科学院激光研究所	4	19	1.0	4.0
2	崔文秀	河北省科学院激光研究所	2	1	1.0	1.0
3	吴晓波	河北省科学院激光研究所	2	0	0.0	0.0
4	蔡云虹	河北省科学院激光研究所	2	1	1.0	1.0