氧化铍金刚石膜及其导热性能

• 作者: 余志明 方梅 肖柱 陈永勤 陈爽
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 氧化铍 热导率
• 年，卷（期）: 2009,（1）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 32-35
• 页数: 4页
• 分类号: TQ304|TQ164
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-0224.2009.01.007

摘要

提高氧化铍的热导率,既能助其开拓新的发展空间,又能满足电子器件的散热需求,因而利用热丝化学气相沉积法在氧化铍上沉积得到与基体串、并联方式不同的、利于提高导热率的各种金刚石薄膜.通过扫描电镜和原子力显微镜观察薄膜表面的晶体形貌:采用X射线衍射仪分析薄膜成分;借助热物性激光测试仪测量金刚石膜/氧化铍基复合体的热扩散系数,并计算其热导率.结果表明:镀膜后可使氧化铍的热导率提高12.1%～34.4%;基体预处理方法、金刚石膜和氧化铍基体的串、并联方式对复合体的热导率均有较大影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余志明	中南大学材料科学与工程学院	80	689	15.0	21.0
3	肖柱	中南大学材料科学与工程学院	30	92	5.0	8.0
5	陈爽	中南大学材料科学与工程学院	5	26	4.0	5.0
7	方梅	中南大学材料科学与工程学院	5	20	3.0	4.0