金刚石膜厚度尺寸对热残余应力的影响

• 作者: 吴兰鹰 唐达培 高庆
• 来源期刊: 高压物理学报
• 关键词: 金刚石膜 厚度 残余应力 有限元 主应力 界面
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 316-321
• 页数: 6页
• 分类号: O484.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-5773.2007.03.017

摘要

采用有限元方法对钼基体上不同厚度(20～1 000 μm)金刚石膜的热残余应力进行了全面的模拟与分析,得出了它们在膜内分布的等值线图,研究了金刚石膜厚度尺寸对整个膜内的最大主拉应力和界面处每个应力分量最大值的影响.结果表明:在整个膜内,最大主拉应力的位置出现在膜的表面、界面或侧面,其值随膜厚度的增加而增大;在界面处,最大轴向应力随膜厚度的增加而增大,而最大径向压应力、最大周向压应力和最大剪应力则随膜厚度的增加而减小,其中最大剪应力减幅较小;膜厚度越大时,以上各量随厚度增(减)的速度越慢.其结论对于在金刚石膜的制备中合理地选择厚度、有效地进行应力控制有一定的参考价值.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐达培	西南交通大学应用力学与工程系	25	229	7.0	14.0
2	高庆	西南交通大学应用力学与工程系	133	1854	24.0	32.0
3	吴兰鹰	北京科技大学应用学院	11	55	3.0	7.0