第二代硅技术新浪潮

• 作者: 刘素英
• 来源期刊: 科技信息（吉林）
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体 硅 应变层外延技术 异质结构
• 年，卷（期）: 1995,（4）
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TN304.12

摘要

近10年来,微电子产业获得巨大发展,而且,今后会有更大发展前景——在跨世纪时代将成为支持新产业的中流砥柱。要维持微电子产业的发展,必须保证半导体材料中性能优异的金属材料的长期而稳定供给。20年来.硅在半导体电子学材料中占主导地位,而且正形成“锗——硅技术”浪潮。因此,了解该项技术的发展动向及其