论文降重
免费查重- 钛学术文献服务平台 \
- 学术期刊 \
- 综合期刊 \
- 其它期刊 \
- 等离子体应用技术快报期刊 \
显微机加工用RIE装置的研制
推荐文章
机加工用组合夹具有限元仿真分析
机加工
组合夹具
有限元
仿真分析
面向机加工表面粗糙度的光切显微视觉测量系统
表面粗糙度
光切显微镜
Zernike 矩
亚像素
最小二乘中线
回转件机加工中的同步检测
机加工
检测
非线性修正
拟合多项式
误差
数控插齿机加工误差探讨
数控插齿机
工作台回转误差
传动链误差
误差补偿
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数
(/次)
(/年)
文献信息
| 篇名 | 显微机加工用RIE装置的研制 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | RIE装置 集成电路 显微加工 反应性 离子蚀刻 | ||
| 年，卷（期） | 1995,（10） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 10-12 | |
| 页数 | 3页 | 分类号 | TN405.982 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
引文网络
引文网络
二级参考文献 (0)
共引文献 (0)
参考文献 (0)
节点文献
引证文献 (0)
同被引文献 (0)
二级引证文献 (0)
1995(0)
- 参考文献(0)
- 二级参考文献(0)
- 引证文献(0)
- 二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
RIE装置
集成电路
显微加工
反应性
离子蚀刻
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
四川省成都市432信箱
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
864
总下载数（次）
2
期刊文献
相关文献
推荐文献
- 期刊分类
- 期刊（年）
- 期刊（期）
- 期刊推荐
等离子体应用技术快报2000
等离子体应用技术快报1999
等离子体应用技术快报1998
等离子体应用技术快报1997
等离子体应用技术快报1996
等离子体应用技术快报1995
等离子体应用技术快报1994
等离子体应用技术快报1995年第9期
等离子体应用技术快报1995年第8期
等离子体应用技术快报1995年第7期
等离子体应用技术快报1995年第6期
等离子体应用技术快报1995年第5期
等离子体应用技术快报1995年第4期
等离子体应用技术快报1995年第3期
等离子体应用技术快报1995年第2期
等离子体应用技术快报1995年第12期
等离子体应用技术快报1995年第11期
等离子体应用技术快报1995年第10期
等离子体应用技术快报1995年第1期
