硅红外滤光片的热处理工艺

• 作者: 谭淞生
• 来源期刊: 科技开发动态
• 学科: 工学
• 关键词: 硅红外滤光片 热处理 透过滤 直拉硅单晶片
• 年，卷（期）: 1995,（6）
• 页码范围: 43
• 页数: 1页
• 分类号: TN214
• 语种: 中文

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	谭淞生	上海市长宁路865号中国科学院上海冶金研究所	1	0	0.0	0.0