SIMOX材料铁杂质沾污的紫外光致荧光分析

• 作者: 曾庆城 竺士扬等
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外光致荧光 SIMOX材料 铁杂质 离子注入
• 年，卷（期）: 1996,（2）
• 页码范围: 1-3
• 页数: 8页
• 分类号: TN304.01

摘要

本文用紫外光致荧光法无损检测孙同工艺参数制备ＳＩＭＯＸ材料正面和背面的铁杂质沾污程度，得出了这些样品铁杂质浓度的相对大小。