自动检测装置的联动接口

• 作者: 沈吉顺
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 自动检测装置 联动接口 自动化控制
• 年，卷（期）: shwdzjshyy_1996,（2）
• 页码范围: 21-27
• 页数: 7页
• 分类号: TP216.03

摘要

本文介绍的联动接口是运用接口转换技术对半导体器件初测设备施行改造更新，实现自控检测的一则应用实例。