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摘要:
本文介绍的联动接口是运用接口转换技术对半导体器件初测设备施行改造更新,实现自控检测的一则应用实例。
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文献信息
篇名 自动检测装置的联动接口
来源期刊 上海微电子技术和应用 学科 工学
关键词 自动检测装置 联动接口 自动化控制
年,卷(期) 1996,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 21-27
页数 7页 分类号 TP216.03
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研究主题发展历程
节点文献
自动检测装置
联动接口
自动化控制
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
季刊
1006-9453
31-1239/TN
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
出版文献量(篇)
435
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