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半自动
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内容分析
关键词云
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文献信息
篇名 一微米整体套准技术(OGRT):一种高精度接近/接触曝光新系统
来源期刊 科技开发动态 学科 工学
关键词 微电子技术 OGRT 接触曝光系统 接触法光刻
年,卷(期) 1996,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 13-15
页数 3页 分类号 TN405
字数 语种 中文
DOI
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
微电子技术
OGRT
接触曝光系统
接触法光刻
研究起点
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研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
科技开发动态
双月刊
1003-014X
CN 11-2681/N
北京市中关村北四环西路33号
出版文献量(篇)
5181
总下载数(次)
14
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0
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