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关于提高镀膜机涡轮分子泵使用寿命的几点体会
关于提高镀膜机涡轮分子泵使用寿命的几点体会
作者:
陈曦
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玻璃
真空镀膜
镀膜机
涡轮
分子泵
使用寿命
摘要:
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文献信息
篇名
关于提高镀膜机涡轮分子泵使用寿命的几点体会
来源期刊
建筑玻璃与工业玻璃
学科
工学
关键词
玻璃
真空镀膜
镀膜机
涡轮
分子泵
使用寿命
年,卷(期)
1996,(5)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
28-30
页数
3页
分类号
TQ171.685
字数
语种
DOI
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单位
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陈曦
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1996(0)
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玻璃
真空镀膜
镀膜机
涡轮
分子泵
使用寿命
研究起点
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建筑玻璃与工业玻璃
主办单位:
中国建筑玻璃与工业玻璃协会
建筑材料工业技术情报研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
北京市朝阳区管庄东里甲1号
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
7196
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