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利用氢等离子体预处理实现对GaAs的光滑的反应性离子蚀刻
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文献信息
| 篇名 | 利用氢等离子体预处理实现对GaAs的光滑的反应性离子蚀刻 | ||
| 来源期刊 | 等离子体应用技术快报 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 预处理 砷化镓 等离子体蚀刻 | ||
| 年，卷（期） | 1996,（6） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 4-5 | |
| 页数 | 2页 | 分类号 | TN304.23 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
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等离子体应用技术快报
主办单位：
核工业西南物理研究院
出版周期：
月刊
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开本：
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四川省成都市432信箱
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语种：
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864
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