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移动式单探针
空心阴极
等离子体
诊断
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等离子体
郎缪尔探针法
微波透射法
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 等离子体—阴极方法对从氧化物上产生高电荷态离子的影响
来源期刊 等离子体应用技术快报 学科 物理学
关键词 ECRIS 离子源 等离子体 高电荷态
年,卷(期) dlztyyjskb_1996,(8) 所属期刊栏目
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页数 1页 分类号 O531
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