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外加磁场对小功率电感耦合微波微等离子体激励的影响
微波
微等离子体
螺旋天线
外加磁场
激励功率
电感耦合等离子体质谱联用技术应用进展
电感耦合等离子体质谱
联用技术
电感耦合等离子体-质谱法测水中铊不确定度的评定
电感耦合等离子体-质谱法
水中铊
不确定度
评定
电感耦合等离子体刻蚀GaN材料的工艺研究
电感耦合等离子体刻蚀
GaN
刻蚀速率
选择比
直流偏压
内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 用一个多级螺旋线圈的新电感耦合等离子体源
来源期刊 国外核聚变与等离子体应用 学科 物理学
关键词 多级螺旋线圈 等离子体特性 等离子体源
年,卷(期) 1996,(6) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 74-77
页数 4页 分类号 O531
字数 语种 中文
DOI
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1996(0)
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研究主题发展历程
节点文献
多级螺旋线圈
等离子体特性
等离子体源
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
国外核聚变与等离子体应用
双月刊
出版文献量(篇)
544
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