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半导体研究与生产中砷烷和磷烷气体的环境浓度监测及泄漏报警
半导体研究与生产中砷烷和磷烷气体的环境浓度监测及泄漏报警
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摘要：
本文对半导体研究与生产中常用的剧毒砷烷的磷烷气体的环境浓度测量原理进行了简单综述，并结合一些典型的测量地其功能特点 性能指标等作了介绍。
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文献信息
| 篇名 | 半导体研究与生产中砷烷和磷烷气体的环境浓度监测及泄漏报警 | ||
| 来源期刊 | 上海微电子技术和应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 砷烷 磷烷 环境浓度测量 半导体 外延生长 | ||
| 年，卷（期） | 1997,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 20-23 | |
| 页数 | 4页 | 分类号 | TN304.054 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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1997(0)
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研究主题发展历程
节点文献
砷烷
磷烷
环境浓度测量
半导体
外延生长
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
上海微电子技术和应用
主办单位：
出版周期：
季刊
ISSN：
1006-9453
CN：
31-1239/TN
开本：
出版地：
上海市胶州路397号 上海半导体器件研究
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
435
总下载数（次）
3
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