半导体研究与生产中砷烷和磷烷气体的环境浓度监测及泄漏报警

• 作者: 江霞
• 来源期刊: 上海微电子技术和应用
• 学科: 工学
• 关键词: 砷烷 磷烷 环境浓度测量 半导体 外延生长
• 年，卷（期）: shwdzjshyy_1997,（2）
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: TN304.054

摘要

本文对半导体研究与生产中常用的剧毒砷烷的磷烷气体的环境浓度测量原理进行了简单综述，并结合一些典型的测量地其功能特点 性能指标等作了介绍。

作者信息

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1	江霞		1	0	0.0	0.0