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HL—1M装置硼化膜的研究
HL—1M装置硼化膜的研究
作者:
张年满
王明旭
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
硼化膜
托卡马克装置
聚变堆材料
摘要:
HL-1M装置采用C2B10H12蒸汽等离子体增强沉积技术对第一壁进行了原位硼化,在第一壁表面上形成一层半透明、非晶a-B/C:H膜。在单电极、1.2A/750V放电参数下,平均沉积速率为110nm/h,膜厚不均匀度为84%,B/C=0.6-2.0,B-C的结合能为97-99eV,与B/C值有关。膜层中有20-30%的硼是以B-C的形式存在,70-80%碳是以a-C:H形式存在,这是HL-1M装置
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文献信息
篇名
HL—1M装置硼化膜的研究
来源期刊
四川真空
学科
工学
关键词
硼化膜
托卡马克装置
聚变堆材料
年,卷(期)
1997,(1)
所属期刊栏目
研究方向
页码范围
34-40
页数
7页
分类号
TL631.24
字数
语种
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
王明旭
24
83
7.0
8.0
2
张年满
22
49
4.0
6.0
传播情况
被引次数趋势
(/次)
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引文网络
引文网络
二级参考文献
(0)
共引文献
(0)
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同被引文献
(0)
二级引证文献
(0)
1997(0)
参考文献(0)
二级参考文献(0)
引证文献(0)
二级引证文献(0)
研究主题发展历程
节点文献
硼化膜
托卡马克装置
聚变堆材料
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
四川真空
主办单位:
四川省真空学会
国投南光有限公司
出版周期:
半年刊
ISSN:
CN:
开本:
出版地:
成都市第109信箱207分箱
邮发代号:
创刊时间:
语种:
出版文献量(篇)
395
总下载数(次)
1
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