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文献信息
| 篇名 | 氢钝化法在W—选择CVD技术及浅接合触发点形成方面的应用 | ||
| 来源期刊 | 钨钼材料 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 大型集成电路 触发点 氢钝化法 CVD | ||
| 年，卷（期） | wzcl_1997,（2） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 44-49 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN470.5 |
| 字数 | 语种 | ||
| DOI | |||
五维指标
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1997(0)
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研究主题发展历程
节点文献
大型集成电路
触发点
氢钝化法
CVD
研究起点
研究来源
研究分支
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
钨钼材料
主办单位：
成都虹波实业股份有限公司
出版周期：
季刊
ISSN：
CN：
开本：
出版地：
成都市253信箱情报室
邮发代号：
创刊时间：
语种：
出版文献量（篇）
505
总下载数（次）
4
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