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钨钼材料
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成都虹波实业股份有限公司
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季刊
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610051
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26. 温度对钨蚀刻的影响摘要： 运用ＳＦ６运行的表面波持续磁等离子体反应器研究基片温度（从Ｔｓ＝＋２０℃到Ｔｓ＝－４５℃）对钨材蚀刻性（蚀刻率及有向性）的影响。根据蚀刻性与氟原子浓度及离子流密度的关系，我们发觉当基片温度与...
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钨钼材料基本信息
| 刊名 | 钨钼材料 | 主编 | |
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| 主办单位 | 成都虹波实业股份有限公司 | 主管单位 | |
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