计量型原子力显微镜

• 作者: K. Hasche K. Thiele M. Bienias R. Seemann 徐毅 赵克功 高思田
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量型原子力显微镜 微型光纤传导激光干涉测量系统 误差合成数学模型
• 年，卷（期）: 1998,（1）
• 页码范围: 1-8
• 页数: 8页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-1158.1998.01.001

摘要

本文报导国际上研制的第一台在纳米测量中,在中等测量范围内,具有微型光纤传导激光干涉三维测量系统、可自校准和进行绝对测量的计量型原子力显微镜.它的诞生,可使目前用于纳米技术研究的扫描隧道显微镜定量化,并将其所测量的纳米量值直接与米定义相衔接.使人们更加准确地了解纳米范围内的各种物理现象,并对它们进行更精确的分析.文章对计量型原子力显微镜进行了理论分析,提出了对各种测量误差的抑制及其补偿方法,并进行了大量的实验,得到良好的结果.目前,该计量型原子力显微镜在其测量范围内,任意两点间距离的测量不确定度为U95=5nm+2×10-4l;在z-轴上的测量不确定度为U95=(1.1～1.2nm)+2×10-4h.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高思田		93	567	11.0	19.0
2	徐毅		15	320	10.0	15.0
3	赵克功		10	151	7.0	10.0
4	M. Bienias		1	62	1.0	1.0
5	K. Hasche		1	62	1.0	1.0
6	R. Seemann		1	62	1.0	1.0
7	K. Thiele		1	62	1.0	1.0