高功率半导体激光器电极蒸铟技术

• 作者: 李军 王玉霞
• 来源期刊: 光学精密机械
• 学科: 工学
• 关键词: 激光器 电极 电极蒸铟 热蒸发 半导体激光器
• 年，卷（期）: 1998,（3）
• 页码范围: 1-2
• 页数: 2页
• 分类号: TN248.405

摘要

本文介绍了装配高功率半导体激光器所用电极的蒸铟技术。在整个实验过程中，对使用的铟量、铟的厚度、蒸发电流、蒸发源与电极之间的距离、铟表面均匀度反复进行了实验，最后蒸发出了最理想（电极表面均匀，有非常光亮的金属光泽，厚度合适）的电极来，为制作良好的半导体激光器打下了一定的基础。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玉霞	长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室	6	12	2.0	3.0
2	李军	长春光学精密机械学院高功率半导体激光国家重点实验室	3	54	2.0	3.0