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聚焦离子束技术最近进展
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文献信息
| 篇名 | 聚焦离子束技术最近进展 | ||
| 来源期刊 | 国外核聚变与等离子体应用 | 学科 | 工学 |
| 关键词 | 聚焦离子束 无掩模能力 离子束辅助沉积 蚀刻 | ||
| 年，卷（期） | 1998,（1） | 所属期刊栏目 | |
| 研究方向 | 页码范围 | 76-80,F004 | |
| 页数 | 6页 | 分类号 | TN405.982 |
| 字数 | 语种 | 中文 | |
| DOI | |||
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聚焦离子束
无掩模能力
离子束辅助沉积
蚀刻
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