低温等离子复合技术淀积Al2O3膜的研究

• 作者: 师勉恭 林锡刚
• 来源期刊: 四川真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 低温等离子复合 软磁材料 薄膜沉积 氧化铝
• 年，卷（期）: 1998,（2）
• 页码范围: 11-16
• 页数: 6页
• 分类号: O484.1

摘要

利用真空技术，低能离子束刻蚀技术和射频磁控溅射相结合组成的低温等离子复合技术，在软磁材料表面获得了性能优良，且满足工业生产要求的Ａｌ２Ｏ３绝缘膜，本文介绍了复合技术成膜装置特点及该Ａｌ２Ｏ３膜的特点，利用的扫描电子显微镜，透射电镜及Ｘ射线光电子能谱仪对该膜进行了分析，试验结果认为该膜的物理特性，电学特性及机械特性是优异的，对于该膜的半工业性试验也进行了研究。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	林锡刚	四川联合大学原子核科学技术研究所	1	0	0.0	0.0
2	师勉恭	四川联合大学原子核科学技术研究所	1	0	0.0	0.0