电子显微镜的现状与展望

• 作者: 姚骏恩
• 来源期刊: 电子显微学报
• 学科: 工学
• 关键词: 透射电子显微镜 扫描电子显微镜 仪器制造与发展
• 年，卷（期）: 1998,（6）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 767
• 页数: 1页
• 分类号: TH74
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-6281.1998.06.016

摘要

本文扼要介绍了电子显微镜的现状与展望.透射电子显微镜方面主要有:高分辨电子显微学及原子像的观察,像差校正电子显微镜,原子尺度电子全息学,表面的高分辨电子显微正面成像,超高压电子显微镜,中等电压电镜,120kV,100kV分析电镜,场发射枪扫描透射电镜及能量选择电镜等,透射电镜将又一次面临新的重大突破;扫描电子显微镜方面主要有:分析扫描电镜和X射线能谱仪、X射线波谱仪和电子探针仪、场发射枪扫描电镜和低压扫描电镜、超大试样室扫描电镜、环境扫描电镜、扫描电声显微镜、测长/缺陷检测扫描电镜、晶体学取向成像扫描电子显微术和计算机控制扫描电镜等.扫描电镜的分辨本领可望达到0.2-0.3nm并观察到原子像.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚骏恩	中国科学院北京科学仪器研制中心中国科学院北京电子显微镜实验室	3	161	3.0	3.0