溶胶-凝胶法制备SiO2-TiO2复合薄膜的抗刻蚀能力研究

• 作者: 姚熹 张良莹 翟继卫
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 薄膜 结构 激光写入 化学腐蚀 微区Raman光谱
• 年，卷（期）: 1999,（1）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 133-137
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.1999.01.022

摘要

采用Sol-Gel工艺制备SiO2-TiO2复合薄膜,研究在不同温度下薄膜对HF缓冲溶液的刻蚀能力. 薄膜经800℃热处理的刻蚀速率是200℃热处理的1/1000倍,利用这种差异,在薄膜上用激光进行致密化处理,从而形成所需的图形.由XRD和FT-IR光谱分析对造成这种刻蚀能力差异的原因进行了解释、讨论. 显微Raman光谱揭示出薄膜经激光处理后, 其致密化区域具有不同的晶化特征. 说明激光光束的能量分布对其扫描区域的析晶分布有一定的对应关系.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚熹	同济大学功能材料研究所	123	956	16.0	21.0
3	张良莹	同济大学功能材料研究所	59	646	15.0	22.0
9	翟继卫	同济大学功能材料研究所	35	241	9.0	13.0