溶胶-凝胶法制备工艺参数对Al2O3-SiO2薄膜质量的影响

• 作者: 同帜 崔双科 李大川 邹力
• 来源期刊: 粉末冶金材料科学与工程
• 关键词: 溶胶-凝胶 Al2O3-SiO2复合薄膜 防开裂
• 年，卷（期）: 2012,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺技术
• 页码范围: 818-824
• 页数: 7页
• 分类号: O611.4
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶法制备Al2O3-SiO2复合薄膜,研究溶胶成分、水解反应温度、热处理环境及烧结温度对薄膜质量的影响.通过黏度测试、热重分析仪(TG-DTG)、X射线衍射分析仪(XRD)和原子力显微镜(AFM)对样品进行表征.结果表明,溶胶的组成与热处理过程中的应力不均是导致薄膜开裂的主要原因.当Al2O3∶ SiO2(mol/mol)=1∶3或1∶2,水解反应温度为40℃,热处理环境湿度70％,温度60℃,以0.5℃/min的升温速率升至600℃焙烧2h,缓慢升温且适当保温,可得完好的Al2O3-SiO2复合薄膜,所制备的块状薄膜,无裂缝且均匀透明.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	同帜	西安工程大学环境与化学工程学院	137	662	13.0	18.0
2	邹力	西安工程大学环境与化学工程学院	5	14	3.0	3.0
3	李大川		14	103	6.0	9.0
4	崔双科		32	145	6.0	10.0