制备工艺对溶胶-凝胶法制备BeFeO3薄膜的影响

• 作者: 宋德智 张文政 李三喜 李天生 王趱
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 铁酸铋薄膜 退火温度 保温时间 微观形貌 铁电性能
• 年，卷（期）: 2016,（8）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 43-45,59
• 页数: 4页
• 分类号: TQ135.32
• 语种: 中文

摘要

利用溶胶-凝胶法在Pt/Ti/SiO2/Si基体上制备了BiFeO3薄膜,构架了Pt/BiFeO3/Pt电容器.对不同退火温度和保温时间制备薄膜的微观形貌和铁电性能做了研究.X射线衍射仪(XRD)结果显示,不同的退火温度和保温时间并没有改变BiFeO3(BFO)的钙钛矿结构,但温度的改变会产生不同的晶相.通过扫描电子显微镜(FE-SEM)可以观察到,随着烧结保温时间的延长,薄膜晶粒有减小的趋势.P-E曲线结果表明,BFO薄膜在外加电场较高时易击穿,难以得到清晰饱和的电滞回线.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李三喜	沈阳化工大学材料科学与工程学院	21	137	7.0	10.0
3	王趱	沈阳化工大学材料科学与工程学院	13	271	7.0	13.0
4	张文政	沈阳化工大学材料科学与工程学院	26	114	8.0	9.0
7	宋德智	沈阳化工大学材料科学与工程学院	2	6	1.0	2.0
8	李天生	沈阳化工大学材料科学与工程学院	2	6	1.0	2.0