多台阶光栅结构的溶胶凝胶法制备工艺

• 作者: 刘春泽 叶君建 吴广明 周斌 徐翔 杜艾 沈军
• 来源期刊: 原子能科学技术
• 关键词: 微结构 凝胶 ZrO2 螯合环 光敏
• 年，卷（期）: 2008,（9）
• 所属期刊栏目: 技术及应用
• 页码范围: 829-832
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶凝胶法制备一种具有光敏性的ZrO2薄膜,通过紫外分光光度计对薄膜曝光前后的结构变化进行分析.结果表明,该薄膜具有良好的光敏性.采用紫外曝光结合图形转移工艺,制备了具有多台阶结构的复杂微细图形.测量结果表明,该结构为周期性三台阶结构,周期为210μm,每个台阶的高度约为325 nm.