微波近场显微镜及其在超导薄膜和衬底材料特性无损检测上的应用

• 作者: 冯一军 刘庆国 刘雷 吴培亨 尤立星 杨森祖
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 年，卷（期）: 1999,（4）
• 页码范围: 278-282
• 页数: 5页
• 分类号: O4
• 字数: 2318字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.1999.04.009

摘要

高温超导薄膜的微波性能受制备工艺和衬底材料性能的影响,常常出现空间不均匀分布,因此,无损检测大面积超导薄膜及衬底材料的微波性能,研究影响局域微波性能的因素,是高温超导微波器件应用研究中的一个重要方面.我们设计和制造了一套同轴谐振腔型微波近场扫描显微镜,利用该显微镜研究了金属薄膜样品微波表面电阻和介质材料的介电常数的空间分布,给出了其空间分辨率并分析了影响空间分辨率的因素.利用这套微波近场扫描显微镜,对大面积 LaAlO3 单晶衬底材料介电常数的空间分布进行了测量,并分析了其测量精度.最后,利用这套微波近场扫描显微镜,研究了YBaCuO薄膜平面微波器件的微波表面电阻的分布情况,对影响其局域微波性能的因素做了初步分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨森祖	南京大学电子科学与工程系	17	31	4.0	5.0
2	吴培亨	南京大学电子科学与工程系	93	237	8.0	12.0
3	尤立星	南京大学电子科学与工程系	11	23	3.0	4.0
4	冯一军	南京大学电子科学与工程系	31	143	6.0	11.0
5	刘雷	南京大学电子科学与工程系	4	29	2.0	4.0
6	刘庆国	南京大学电子科学与工程系	4	17	2.0	4.0