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高帧速CCD摄像器件的设计
高帧速CCD摄像器件的设计
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摘要：
设计了光敏元尺寸18μm×18μm 512(H)×512(V)光纤面板耦合CCD高帧速摄像器件,帧速为500帧/s.详细讨论器件多相加压(MPP)和常规工作模式的设计,给出了器件设计性能参数.该器件采用2μm,双层多晶硅和双层金属工艺制作.
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期刊影响力
红外与激光工程
主办单位：
天津津航技术物理研究所
中国光学工程学会
出版周期：
月刊
ISSN：
1007-2276
CN：
12-1261/TN
开本：
大16开
出版地：
天津市空港经济区中环西路58号
邮发代号：
6-133
创刊时间：
1972
语种：
chi
出版文献量（篇）
9150
总下载数（次）
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